Alicat質量bv伟德登录入口助推納米級製造

Alicat質量bv伟德登录入口助推納米級製造

在過去很多年中，人們(men) 對計算能力的需求不斷增長，導致電子產(chan) 品的複雜性和產(chan) 量都呈指數級增長。納米級製造的高成本和高靈活性已成為(wei) 開發創新產(chan) 品的主要障礙。超低成本、高性能製造工具的新穎平台通過將先進的處理能力與(yu) 大尺寸的基板分離，從(cong) 而消除了這一障礙。使用較小的基板也可以提高性能，並優(you) 於(yu) 現有的商用工具。一直致力於(yu) 完善和擴展其微細加工和納米加工能力，並不斷尋找可以幫助實現這一目標的新技術。Alicat半導體(ti) 壓力控製器和MFC係列質量bv伟德登录入口提供了一個(ge) 性能、可靠性和價(jia) 格之間無需折衷的解決(jue) 方案，這使其成為(wei) 納米級製造係統的氣體(ti) 控製必要組成部分。

Alicat為(wei) 這一挑戰提供了的準確性、響應能力和控製氣體(ti) 流量需求。Alicat半導體(ti) 壓力控製器和MFC係列質量bv伟德登录入口提供了一個(ge) 性能、可靠性和價(jia) 格之間無需折衷的解決(jue) 方案，這使其成為(wei) 納米級製造係統的氣體(ti) 控製必要組成部分。

Alicat半導體(ti) MCE係列真空氣體(ti) 質量bv伟德登录入口采用了層流差壓(DP)技術，可同時測量98種氣體(ti) 的質量流量、體(ti) 積流量、壓力和溫度，並進行全溫度和壓力補償(chang) 。MCE係列控製器低至0-0.5sccm、高至0-20 slpm、控製響應時間為(wei) 50-100毫秒。Alicat質量bv伟德登录入口以驚人的精度和響應時間大大提高實驗質量。