一、熱式原理質量流量計
優(you) 勢:1:耐強腐蝕/高壓 2:長期穩定性好 3:上市時間長
不足:怕水分
代表品牌:美國 MKS\BROOKS AALBORG,日本 HORIBA,德國寶德,國產(chan) 格裏爾斯GRYLLS
二 、壓差式原理質量流量計
優(you) 勢:1:精度高 2:速度快 3:不怕水分
不足:1:有些強腐蝕氣體(ti) ,不能製作 2:不能耐高壓
代表品牌:美國 ALCIAT-20KG,美國 AALBORG ,國產(chan) 格裏爾斯GRYLLS
三 、科裏奧利(科氏)質量流量計
目前優(you) 秀的測量原理,集熱式和壓差式的優(you) 勢
價(jia) 格比其它原理的高
代表品牌:荷蘭(lan) Bronkhorst,美國 BROOKS,國產(chan) 格裏爾斯GRYLLS