真空鍍膜係統內(nei) 淨化氣體(ti) 和反應氣體(ti) 的輸入需要快速的響應和精確的控製。
艾裏卡特ALICAT質量bv伟德登录入口和壓力控製器具有快速的控製響應速度和EtherCAT通訊模式。有了這種EtherCAT通訊模式，將不再需要EtherCAT轉換器，儀(yi) 表也能更輕鬆地整合到工業(ye) PLC網絡中。
化學蒸汽沉積（CVD）和原子層沉積（ALD）過程所用腐蝕性氣態和液態前驅體(ti) 需要不會(hui) 隨時間推移而被腐蝕的質量流量儀(yi) 表。ALICAT艾麗(li) 卡特S係列（MC、MCES、MCVS）質量bv伟德登录入口采用316L不鏽鋼材質的流量傳(chuan) 感器和FFKM彈性體(ti) ，能夠忍受這些嚴(yan) 酷的元素。
升級為(wei) 艾裏卡特質量bv伟德登录入口非常簡單。我們(men) 的MCE係列產(chan) 品滿足SEMI對連接長度的規範要求，它可通過插入方式與(yu) 眾(zhong) 多其它生產(chan) 商的舊版MFC兼容。艾裏卡特MCV是舊版MFC的插入式替代品，配有集成式啟動截止閥。
通過快速控製反應氣體(ti) 流量，確保薄膜塗層的均勻性。艾裏卡特產(chan) 品控製響應時間僅(jin) 50ms或更短，確保被引入您反應濺射過程的反應氣體(ti) 保持一致且可重複。我們(men) 將根據您的預期過程條件設置每一台bv伟德登录入口的PID調節功能，而且，如果您需要更改設置，您可在安裝後隨時更改這些設置。
多功能。監控流速的同時控製壓力；可選擇另一台已知路程氣體(ti) 校準儀(yi) 或者利用COMPOSER™氣體(ti) 編輯器確定自己的氣體(ti) 組成。
連接。利用以太網/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通訊選項，可將這款產(chan) 品輕鬆整合到您的數字工業(ye) 網絡中。
耐用。MC係列氣體(ti) 質量bv伟德登录入口可在不受損的情況下讓液體(ti) 暫時流動。為(wei) 保證對環境影響的耐受性，我們(men) 可為(wei) 您的質量bv伟德登录入口構建IP66等級防護。
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