工作原理
Alicat層流壓差式質量流量計與(yu) 高可調比的電磁比例閥結合,再配合高效率的PID控製算法,組成氣體(ti) 質量流量控製-反饋回路,實現氣體(ti) 質量流量的監控,這就是Alicat MFC的工作原理。
除了質量流量控製模式,Alicat MFC還可以切換到體(ti) 積bv伟德登录入口模式,壓力(絕壓或表壓)控製模式,在對應的控製模式下可以實現不同參數變量的控製。
主要特點
Alicat 質量bv伟德登录入口具有以下特點:
1.響應快:特殊的結構和工作原理,最快可達到100ms響應,響應時間與(yu) 實際工況和PID參數設置有關(guan) ,可通過調節PID值改變響應速度和流量穩定度。
2.無需預熱:上電即可使用,無需提前預熱,節省了等待時間。
3.多參數測量/控製:內(nei) 置溫度、壓力傳(chuan) 感器,可同時顯示氣體(ti) 壓力、溫度、質量流量、體(ti) 積流量等多種參數,可選擇控製質量流量、體(ti) 積流量或壓力。如果選配了累計流量功能,還可以控製批量氣體(ti) 累計流量。
4.背光液晶屏:具有單色或彩色液晶屏,帶屏幕背光燈,可以更直觀的查看實時數據,方便讀數和調試。
5.支持上百種氣體(ti) :內(nei) 置100多種氣體(ti) 的校準數據,切換氣體(ti) 模式後即可測量/控製不同氣體(ti) ,無需換算或重新校準。
6.通訊和操作模式:有多種數字通訊和模擬信號模式可供選擇,以便采集和記錄數據,也有麵板按鍵可手動操作調試。
7.精度:普通精度為(wei) ±(0.8%讀數+0.2%量程);高精度為(wei) ±(0.4%讀數+0.2%量程)。
8.量程:量程範圍寬,可定製。常規流量計最小量程為(wei) 0~0.5SCCM,最大量程為(wei) 0~5000SLPM。量程比200:1。
型號係列
Alicat質量bv伟德登录入口產(chan) 品有多種不同係列,以滿足不同客戶和應用的需求。

典型應用
1. 氣體(ti) 混合、稀釋,標準氣體(ti) 發生器流量控製。常用型號:MC, MCR, MCS, Basis。
2. 大氣采樣儀(yi) 、分析儀(yi) 器氣體(ti) 流量控製。常用型號:MC,MCS,MCR。
3. 燃燒控製,火焰溫度控製。常用型號:MC, MCR, MCRW, Basis。
4. 氮化爐、多用爐內(nei) 氣氛控製。常用型號:MCR,MCRS,LCS。
5. 光伏製造,多晶矽爐氣氛控製。常用型號:MCH,MCR。
6. 生物發酵罐氣氛控製。常用型號:MC,Basis。
7. 新能源、燃料電池測試係統。氣體(ti) 流量或壓力控製。常用型號:MC, MCR, PCR。
8. 光纖製造。常用型號:MC。
9. 泄漏檢測。常用型號:MC,MCW,MCD。
10. 真空鍍膜。常用型號:MC,MCV。
11. 高壓應用。常用型號:MCQ。


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