日本KOFLOC質量bv伟德登录入口-內拋光，它實現了無焊接結構（VCR規格），金屬密封的基本性能，以及半導體工藝氣體控製所需的±1％精度。板載傳感器的響應能力。它具有出色的分辨率，可以處理1 sccm（N2）的微流量。

日本KOFLOC質量bv伟德登录入口-內(nei) 拋光概述：

• 通過使用溫度跟蹤型電流差檢測流量傳感器實現高精度，高速傳感器響應
• 采用電磁鐵電磁閥常閉閥
• 由於無焊接結構（VCR規格），金屬密封，泄漏低
• 采用隔膜閥，減少死體積
• 麵對麵，體型和接線連接與其他公司的更換兼容

日本KOFLOC質量bv伟德登录入口-內(nei) 拋光

5100係列性能參數： 

5100係列電器連接：

5100係列使用注意：

一：進氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用，保證氣體(ti) 的幹燥幹淨《濕度不超過90%(一定不能進水)、雜質粉塵不超過20微米》。

二：用肥皂水對管路進行泄漏檢測時，隻能將肥皂水噴灑在管路接頭上，不能噴在儀(yi) 表或電氣插頭上。

三：安裝前，請將設備管路進行整體(ti) 吹掃。

四：耐壓1.0Mpa，進口大壓力5公斤。

五：需要進行零點漂移清零的時候，確認進/出口沒流量沒壓力下 再操作。

警告

流量範圍附帶的規格（流量範圍，精度，響應性等）是N2或空氣轉換中的規格。
另外，生產(chan) 規格條件是初級側(ce) 小於(yu) 300kPa，次級側(ce) 向大氣開放。
有關(guan) 壓力條件，請另行谘詢。